檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="錫摻雜氮化銦鎵"
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本論文以RF反應性濺鍍法製備n型Sn摻雜GaN及InGaN薄膜,並將摻雜不同成分之Sn-x GaN薄膜與p-type Silicon基板堆疊製作成p-n二極體,進而觀察其電特性。於本實驗中我們利用E…